UNE-EN 62047-12:2011
Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 12: Método de ensayo de fatiga al doblado de materiales de película fina utilizando vibración resonante de las estructuras MEMS. (Ratificada por AENOR en febrero de 2012.)
| Edition date: |
2012-02-01
In Force
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|---|---|
| Ratification date: | 2012-02-01 |
| Available languages: | English |
| ICS: | 31.080.99-Other semiconductor devices |
| CTN: | CTN 209/SC 47 - Dispositivos de semiconductores |
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International Equivalence |
Identic EN 62047-12:2011 Identic IEC 62047-12:2011 |










