EN ISO 14644-13:2026
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical concentration (ISO 14644-13:2026)
| Fecha edición: |
2026-03-11
En Vigor
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|---|---|
| Idiomas disponibles: | Francés, Inglés |
| Resumen: | This document gives guidelines for cleaning to a specified degree on cleanroom surfaces, surfaces of equipment in a cleanroom and surfaces of materials in a cleanroom. Under consideration are all surfaces (external or internal) that are of interest. It provides guidance on the assessment of cleaning methods for achieving the required surface cleanliness by particle concentration (SCP) and surface cleanliness by chemical concentration (SCC) levels and which techniques should be considered to achieve these specified levels.
The appropriateness of cleaning techniques will make reference to the cleanliness levels and associated test methods found in ISO 14644-9 and ISO 14644-10.
The document gives general guidance on the following:
expected surface cleanliness levels;
suitability of cleaning methods;
compatibility of surfaces with the cleaning technique;
assessment of cleaning appropriateness.
The following are excluded from this document:
classification of cleaning methods;
product produced within a cleanroom;
specific surface-related cleaning methods;
detailed description of cleaning mechanisms, methods and procedures of various cleaning methods;
detailed material characteristics;
description of damage mechanisms by cleaning processes and time-dependent effects;
references to interactive bonding forces between contaminants and surfaces or generation processes that are usually time-dependent and process-dependent;
other characteristics of particles such as electrostatic charge, ionic charges, etc.;
chemical reactions between molecular contaminants and surfaces;
microbiological aspects of surface cleanliness;
radioactive aspects of contamination;
health and safety considerations;
environmental aspects such as waste disposal, emissions, etc.;
selection and use of statistical methods. Le présent document donne des lignes directrices concernant le nettoyage, jusqu’à atteindre un degré de nettoyage spécifié, des surfaces d’une salle propre ainsi que des surfaces des équipements et des matériaux contenus dans une salle propre. Toutes les surfaces d’intérêt (internes ou externes) sont concernées par le présent document. Il fournit des recommandations concernant l’évaluation des méthodes de nettoyage en vue d’obtenir les niveaux de gradation exigés de propreté particulaire des surfaces (SCP) et de propreté chimique des surfaces (SCC) ainsi que les techniques qu’il convient d’utiliser pour atteindre ces niveaux spécifiés. L’adéquation des techniques de nettoyage fera référence aux niveaux de gradation de la propreté et aux méthodes d’essai associées disponibles dans l’ISO 14644-9 et l’ISO 14644-10. Le document donne des recommandations générales sur les points suivants: niveaux de gradation de la propreté des surfaces souhaités; pertinence des méthodes de nettoyage; compatibilité des surfaces avec la technique de nettoyage; évaluation de l’adéquation du nettoyage. Les points suivants ne seront pas traités dans le présent document: classification des méthodes de nettoyage; produits fabriqués dans une salle propre; méthodes de nettoyage spécifiques en lien avec une surface; description détaillée des mécanismes de nettoyage, méthodes et modes opératoires de diverses méthodes de nettoyage; caractéristiques détaillées des matériaux; description des mécanismes de détérioration dus aux procédés de nettoyage et effets dans le temps; références aux forces de liaison entre les contaminants et les surfaces, ou aux processus de génération qui dépendent généralement du temps et du procédé; autres caractéristiques des particules, telles que la charge électrostatique, les charges ioniques, etc.; réactions chimiques entre les contaminants moléculaires et les surfaces; aspects microbiologiques de la propreté des surfaces; aspects radioactifs de la contamination; considérations relatives à la santé et la sécurité; aspects environnementaux tels que l’élimination des déchets, les émissions, etc.; sélection et utilisation de méthodes statistiques. Dieses Dokument gibt Richtlinien zur Reinigung von Reinraumoberflächen, Oberflächen der Ausrüstung in einem Reinraum und Oberflächen von Materialien in einem Reinraum bis zu einem festgelegten Grad. Berücksichtigt werden alle relevanten Oberflächen (extern oder intern). Es gibt Anleitungen zur Bewertung von Reinigungsverfahren zum Erreichen der geforderten Stufen der partikulären Oberflächenreinheit (en: surface cleanliness by particle concentration, SCP) und der chemischen Oberflächenreinheit (en: surface cleanliness by chemical concentration, SCC) und in Bezug darauf, welche Techniken zum Erreichen dieser festgelegten Grade berücksichtigt werden sollten. Bei der Eignung von Reinigungstechniken wird auf die Reinheitsstufen und die damit verbundenen Prüfverfahren aus ISO 14644 9 und ISO 14644 10 verwiesen. Dieses Dokument gibt allgemeine Anleitungen zu Folgendem: die erwarteten Oberflächenreinheitsgrade; die Eignung der Reinigungsverfahren; die Kompatibilität von Oberflächen mit der Reinigungstechnik; die Bewertung der Eignung für die Reinigung. Das Folgende wird in diesem Dokument nicht berücksichtigt: die Klassifizierung von Reinigungsverfahren; das innerhalb eines Reinraums hergestellte Produkt; die spezifische Oberfläche in Bezug auf die Reinigungsverfahren; die detaillierte Beschreibung von Reinigungsmechanismen, -verfahren sowie Verfahrensweisen von verschiedenen Reinigungsverfahren; die detaillierten Materialkenngrößen; die Beschreibung von Mechanismen hinsichtlich Schäden durch die Reinigungsprozesse und zeitabhängigen Auswirkungen; Verweisungen auf interaktive Bindungskräfte zwischen den Kontaminanten und Oberflächen oder Generierungsprozesse, die üblicherweise zeit- und prozessabhängig sind; weitere Kenngrößen von Partikeln, beispielsweise elektrostatische Ladung, Ionenladungen usw.; die chemischen Reaktionen zwischen molekularen Kontaminanten und Oberflächen; die mikrobiologischen Aspekte der Oberflächenreinheit; die radioaktiven Aspekte der Kontamination; die Aspekte des Gesundheitsschutzes und der Arbeitssicherheit; die Umweltaspekte, beispielsweise Abfallentsorgung, Emissionen usw.; die Auswahl und Anwendung von statistischen Verfahren. |
| ICS: | 13.040.35 - Salas limpias y ambientes controlados asociados |
| CTN: | CEN/TC 243 - 6224 |
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Otras Relaciones |
Acuerdo de Viena ISO 14644-13:2026 |
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