NF EN ISO 14644-15
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 15 : assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration
| Edition date: |
2018-02-03
In Force
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|---|---|
| Available languages: | English, French |
| Summary: | Le présent document fournit des exigences et des lignes directrices relatives à l'évaluation de la propreté chimique de l'air d'équipements et de matériaux destinés à être utilisés dans des salles propres et des environnements maîtrisés apparentés. Ces exigences et lignes directrices sont liées à la norme ISO relative aux classes de propreté chimique (voir l'ISO 14644-8) .Les aspects suivants ne font pas partie du domaine d'application:- exigences de santé et de sécurité;- compatibilité avec les agents et les techniques de nettoyage;- nettoyabilité;- biocontamination;- exigences spécifiques applicables aux équipements et matériaux en ce qui concerne des procédés et des produits;- détails de la conception des équipements. |
| Keywords: | CLEAN ROOMS|PURITY|CLEANLINESS CHECKS|CONTROLLED ATMOSPHERES|ATMOSPHERIC CONTAMINATION MONITORING|MACHINERY|MEASURING INSTRUMENTS|MEASUREMENT|PROCEDURE|CONCENTRATION|DESIGN|MATERIALS|DOCUMENTS |
| ICS: | 13.040.35-Cleanrooms and associated controlled environments |
| CTN: | |
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International Equivalence |
Identic EN ISO 14644-15:2017 Identic ISO 14644-15:2017 |










