NF EN 62047-21
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21 : test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials
| Edition date: |
2014-12-26
In Force
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| Available languages: | English, French |
| Summary: | La présente partie de l'IEC 62047 spécifie la détermination du coefficient de Poisson à partir des résultats obtenus par l'application d'essais de charges uniaxiales et biaxiales aux matériaux pour systèmes microélectromécaniques (MEMS, Micro-Electrical-Mechanical Systems) à couche mince dont les longueurs et les largeurs sont inférieures à 10 mm et les épaisseurs sont inférieures à 10 mu m. |
| Keywords: | SEMICONDUCTOR DEVICES|MICROELECTRONICS|MATERIALS|MECHANICAL TESTS|MECHANICAL STRENGTH|LOADS : FORCES|DEFORMATION |
| ICS: | 31.080.99-Other semiconductor devices |
| CTN: | |
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International Equivalence |
Identic EN 62047-21:2014 Identic IEC 62047-21:2014 |










