NF EN 62047-17
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17 : bulge test method for measuring mechanical properties of thin films
| Edition date: |
2015-11-14
In Force
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| Available languages: | English, French |
| Summary: | La présente partie de la IEC 62047 spécifie la méthode permettant d'effectuer des essais de renflement sur une couche autonome bombée dans une fenêtre. Le spécimen est fabriqué avec des matériaux de couche de structure micrométrique ou nanométrique, y compris les couches en métal, céramique et polymère, pour des MEMS, des micromachines et autres. L'épaisseur du film est comprise entre 0,1 micron m et 10 micron m et la largeur de la fenêtre à membrane rectangulaire et carrée ainsi que le diamètre de la membrane circulaire sont compris entre 0,5 mm et 4 mm.Les essais sont effectués à température ambiante par l'application d'une pression uniformément répartie sur le spécimen de couche d'essai avec fenêtre bombée.Le module d'élasticité et la contrainte résiduelle des matériaux de la couche peuvent être déterminés avec cette méthode. |
| Keywords: | SEMICONDUCTOR DEVICES|MICROELECTRONICS|MATERIALS|METALS|CERAMICS|POLYMERS|TESTS|ENVIRONMENTAL TESTS|PRESSURE TESTS|MEASUREMENT|MECHANICAL PROPERTIES|DEFORMATION|THIN FILMS |
| ICS: | 31.080.99-Other semiconductor devices |
| CTN: | |
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International Equivalence |
Identic EN 62047-17:2015 Identic IEC 62047-17:2015 |










