UNE-EN 62047-22:2014
Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 22: Métodos de ensayo de tensión electromecánica para películas delgadas conductoras sobre sustratos flexibles (Ratificada por AENOR en noviembre de 2014.)
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 22: Electromechanical tensile test method for conductive thin films on flexible substrates (Endorsed by AENOR in November of 2014.)
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 22: Méthode d'essai de traction électromécanique pour les couches minces conductrices sur des substrats souples (Entérinée par l’AENOR en novembre 2014.)