UNE-EN 62047-12:2011
Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 12: Método de ensayo de fatiga al doblado de materiales de película fina utilizando vibración resonante de las estructuras MEMS. (Ratificada por AENOR en febrero de 2012.)
| Fecha edición: |
2012-02-01
En Vigor
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| Fecha de ratificación: | 2012-02-01 |
| Idiomas disponibles: | Inglés |
| ICS: | 31.080.99 - Otros dispositivos semiconductores |
| CTN: | CTN 209/SC 47 - Dispositivos de semiconductores |
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Equivalencia Internacional |
Idéntica EN 62047-12:2011 Idéntica IEC 62047-12:2011 |










