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ISO/TR 14644-21:2023
Cleanrooms and associated controlled environments — Part 21: Airborne particle sampling techniques
| Fecha edición: |
2023-08-18
En Vigor
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| Idiomas disponibles: | Francés, Inglés |
| Resumen: | This document discusses the physical limitations of probe and particle counter placement, and any tubing that connects the two, particularly in providing representative samples where particles 5 micrometres and greater are of interest. The document further identifies the key factors of sampling performance when classifying and monitoring, and good practice to determine and maintain an acceptable compromise between attainable accuracy in counting and feasibility of counting in real-life situations. This document includes a decision tree, used to identify key considerations when sampling airborne particles, and whether the system requires further assessment. There are also examples provided to illustrate typical application challenges and show how the decision tree can be used. It is assumed that this document is read in conjunction with ISO 14644-1 and ISO 14644-2. This document is not a manual, but an explanatory document. It does not describe measurement methods, which is handled in ISO 14644-1 and ISO 14644-2, but provides information to help make effective choices of sampling configuration, when evaluating a new or existing system. Le présent document traite des limites physiques de l’emplacement des sondes et des compteurs de particules, ainsi que des tubes qui les relient, en particulier lorsqu’il s’agit de fournir des échantillons représentatifs lorsque des particules de 5 micromètres ou plus sont considérées. Le document définit en outre les facteurs clés de la performance du prélèvement lors de la classification et de la surveillance, ainsi que les bonnes pratiques permettant de déterminer et de maintenir un compromis acceptable entre la précision et la faisabilité du comptage dans des situations réelles. Le présent document comprend un arbre de décision qui permet d’identifier les éléments clés à prendre en compte lors du prélèvement des particules en suspension dans l’air et de déterminer si le système requiert une évaluation plus poussée. Des exemples sont également fournis pour illustrer les difficultés posées par les applications typiques et montrer comment cet arbre de décision peut être utilisé. Il est présumé que ce document est lu conjointement avec l’ISO 14644-1 et l’ISO 14644-2. Le présent document n’est pas un manuel, mais un document explicatif. Il ne décrit pas les méthodes de mesurage, qui sont traitées dans l’ISO 14644-1 et l’ISO 14644-2, mais fournit des informations pour aider à choisir efficacement la configuration du prélèvement, lors de l’évaluation d’un nouveau système ou d’un système existant. |
| ICS: | 13.040.35 - Salas limpias y ambientes controlados asociados |
| CTN: | ISO/TC 209 - 54874 |










