ISO 14644-10:2022

Cleanrooms and associated controlled environments — Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination

Salles propres et environnements maîtrisés apparentés — Partie 10: Évaluation de la propreté chimique des surfaces

Fecha:

2022-05-04 / Published

ICS:

Comité:

ISO/TC 209

Relación con otras normas ISO:

Trabajo conjunto: ISO 19901-5:2021

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