UNE-EN 62047-26:2016

Dispositivos semiconductores. Dispositivos microelectromecánicos. Parte 26: Descripción y métodos de medición para microsurcos y estructuras de agujas (Ratificada por AENOR en junio de 2016.)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures (Endorsed by AENOR in June of 2016.)

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 26: Description et méthodes de mesure pour structures de microtranchées et de microaiguille (Entérinée par l’AENOR en juin 2016.)