UNE-EN 62047-2:2006

Dispositivos semiconductores. Parte 2: Dispositivos micro-electromecánicos. Métodos de ensayo de tensión de materiales de película fina (IEC 62047-2:2006). (Ratificada por AENOR en enero de 2007.)

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices -- Part 2: Tensile testing method of thin film materials (IEC 62047-2:2006). (Endorsed by AENOR in January of 2007.)

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques -- Partie 2: Méthode d'essai de traction des matériaux en couche mince (CEI 62047-2:2006). (Entérinée par l’AENOR en janvier 2007.)