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Códigos ISO – AENOR
ISO 16413:2020

ISO 16413:2020

Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting

Évaluation de l'épaisseur, de la densité et de la largeur de l'interface des films fins par réflectrométrie de rayons X — Exigences instrumentales, alignement et positionnement, rassemblement des données, analyse des données et rapport

Fecha:
2020-08-14 / Published
Comité:
ISO/TC 201
Relación con otras normas ISO:

Anula a: ISO 16413:2013

152,16
Idioma Formato

Formato digital

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