Resumen:
This Standard specifies a standard test piece which is used to guarantee the propriety and accuracy of a tensile testing system for thin film materials with length and width under 1 mm and thickness under 10 µm, which are main structural materials for micro-electromechanical systems (MEMS), micromachines and similar devices.
In dieser Norm ist eine Standardmikroprobe festgelegt, die verwendet wird, um die Richtigkeit und Genauigkeit eines Prüfsystems zur Zugbeanspruchung von Dünnschicht-Werkstoffen mit Längen- und Breiten kleiner als 1 mm und Dicken kleiner als 10 µm sicherzustellen, welche die hauptsächlichen Basiswerkstoffe in der Mikrosystemtechnologie, von Mikrobauteilen und ähnlichen Bauteilen sind.
Keywords:
Components, Materials, Microelectronics, Microsystem techniques, Precision, Properties, Samples, Semiconductor devices, Specification (approval), Standard methods, Symbols, System engineering, Tensile strain, Tensile testing, Testing, Testing devices, Testing system, Thin films, Thin-film devices, Thin-film technology