This part of IEC 62047 specifies terms and definition, description of trench structure and needle structure in a micrometer scale. In addition, it provides examples of measurement for the geometry of both structures. For trench structures, this standard applies to structures with a depth of 1 µm to 100 µm; walls and trenches with respective widths of 5 µm to 150 µm; and aspect ratio of 0,0067 to 20. For needle structures, the standard applies to structures with a height, horizontal width and vertical width of 2 µm or larger, and with dimensions that fit inside a cube with sides of 100 µm. This standard is applicable to the structural design of MEMS and geometrical evaluation after MEMS processes.
Dieser Teil der IEC 62047 legt Begriffe sowie die Beschreibung von Rillen- und Nadelstrukturen im Mikrometerbereich fest. Zusätzlich werden Beispiele für die Messung der geometrischen Merkmale für beide Strukturen gegeben. Diese Norm ist für Rillenstrukturen mit einer Tiefe von 1 µm bis 100 µm sowie für Rillen/Steg-Strukturen mit Breiten von jeweils 5 µm bis 150 µm und einem Aspektverhältnis von 0,0067 bis 20 anwendbar. Die Norm ist für Nadelstrukturen mit einer Höhe, horizontalen und vertikalen Breite von 2 µm oder mehr sowie Abmessungen, die in einen Würfel mit 100 µm Kantenlänge passen, anwendbar. Diese Norm ist sowohl für den strukturell-konstruktiven Entwurf von MEMS-Bauteilen als auch für die Beurteilung der geometrischen Merkmale nach dem MEMS-Fertigungsprozess anwendbar.