Resumen:
This part of DIN EN 62047 specifies the on-line testing method to measure the bonding strength of micro area which is fabricated by micromachining technology used in silicon-based micro-electromechanical system (MEMS). This part is applicable to the on-line pull-press and shearing strength measurement of the micro bonding area fabricated by microelectronic technology process and other micromachining technology.
In diesem Teil der DIN EN 62047 ist das Online-Prüfverfahren zur Ermittlung der Festigkeit von Bondflächen im Mikrometerbereich festgelegt, die mithilfe von Prozessen der Mikrosystemtechnik, welche für siliziumbasierte mikroelektromechanische Systeme (MEMS) verwendet werden, hergestellt sind. Er ist für die Online-Messung der Zug-Druck- und Scher-Festigkeit von mikrogebondeten Flächen anwendbar, die mithilfe mikroelektronischer oder anderer mikrosystemtechnologischer Verfahren hergestellt werden.
Keywords:
Components, Compounds, Compression, Compressive strength, Connections, Definitions, Electrical engineering, Electronic equipment and components, Materials, Measurement, Measuring techniques, Microelectronics, Microsystem techniques, Properties, Semiconductor devices, Shear strength, Silicon, Specification (approval), Strength of materials, Surface treatment, Tensile strength, Testing