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Normas DIN – AENOR
DIN EN 62047-22:2015-04

DIN EN 62047-22:2015-04

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 22: Electromechanical tensile test method for conductive thin films on flexible substrates (IEC 62047-22:2014); German version EN 62047-22:2014

Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 22: Méthode d'essai de traction électromécanique pour les couches minces conductrices sur des substrats souples (CEI 62047-22:2014); Version allemande EN 62047-22:2014

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 22: Elektromechanisches Zug-Prüfverfahren für leitfähige Dünnschichten auf flexiblen Substraten (IEC 62047-22:2014); Deutsche Fassung EN 62047-22:2014

Fecha:
2015-04 /Active
Idiomas Disponibles:
Alemán
Equivalencias internacionales:

EN 62047-22 (2014-09)

IEC 62047-22 (2014-06)

Relación con otras normas DIN:
Resumen:
This document specifies a tensile test method to measure electromechanical properties of conductive thin micro-electromechanical systems (MEMS) materials bonded on non-conductive flexible substrates.
In diesem Dokument ist ein Zug-Prüfverfahren festgelegt, um elektromechanische Eigenschaften von leitfähigen dünnen Werkstoffen der Mikrosystemtechnik zu messen, die auf nicht leitfähigen flexiblen Substraten gebondet wurden.
Keywords:
Base materials, Components, Conductive, Definitions, Dimensions, Electrical engineering, Electromechanics, Materials, Measurement, Measuring techniques, Mechanical properties, Microelectronics, Microsystem techniques, Properties, Samples, Semiconductor devices, Substrates (coating), System engineering, Tensile testing, Tensile tests, Testing, Testing conditions, Testing system, Thin films, Thin-film devices, Thin-film technology
67,29
Idioma Formato

Formato digital

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