Resumen:
This International Standard specifies the determination of Poisson's ratio from uniaxial and biaxial tests of thin-film micro-electrical-mechanical systems (MEMS) materials with lengths and widths less than 10 mm and thicknesses less than 10 µm.
Diese internationale Norm legt ein Verfahren zur Bestimmung der Querkontraktionszahl (Poissonzahl) fest, und zwar auf Basis einachsiger (uniaxialer) und zweiachsiger (biaxialer) Beanspruchungen von Werkstoffen für MEMS-Dünnschichten (MEMS; en: micro-electromechanical system) mit Längen und Breiten kleiner als 10 mm und Dicken kleiner als 10 µm.
Keywords:
Characteristics, Components, Definitions, Materials, Measurement, Measuring techniques, Microelectronics, Microsystem techniques, Poisson's ratio, Properties, Samples, Semiconductor devices, Single-axle, System engineering, Testing, Testing conditions, Thin films, Thin-film technology, Two-axles