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Normas DIN – AENOR
DIN EN 62047-21:2012-11

DIN EN 62047-21:2012-11

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials (IEC 47F/127/CD:2012) / Note: Date of issue 2012-11-12

/ Attention: Date de parution 2012-11-12

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 21: Prüfverfahren zur Querkontraktionszahl von Dünnschichtwerkstoffen der Mikrosytsemtechnik (IEC 47F/127/CD:2012) / Achtung: Erscheinungsdatum 2012-11-12

Fecha Anulación:
2015-04 /Withdrawn
Idiomas Disponibles:
Bilingüe
Equivalencias internacionales:

IEC 47F/127/CD (2012-08)

Relación con otras normas DIN:

Es reemplazada por: DIN EN 62047-21 (2015-04)

Resumen:
This International Standard specifies the determination of Poisson's ratio from uniaxial and biaxial tests of thin-film micro-electrical-mechanical systems (MEMS) materials with lengths and widths less than 10 mm and thicknesses less than 10 µm.
Diese internationale Norm legt ein Verfahren zur Bestimmung der Querkontraktionszahl (Poissonzahl) fest, und zwar auf Basis einachsiger (uniaxialer) und zweiachsiger (biaxialer) Beanspruchungen von Werkstoffen für MEMS-Dünnschichten (MEMS; en: micro-electromechanical system) mit Längen und Breiten kleiner als 10 mm und Dicken kleiner als 10 µm.
Keywords:
Characteristics, Components, Definitions, Materials, Measurement, Measuring techniques, Microelectronics, Microsystem techniques, Poisson's ratio, Properties, Samples, Semiconductor devices, Single-axle, System engineering, Testing, Testing conditions, Thin films, Thin-film technology, Two-axles
67,29
Idioma Formato

Formato digital

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