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Normas DIN – AENOR
DIN EN 62047-17:2011-06

DIN EN 62047-17:2011-06

Semiconductor devices - Micro- electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin film (IEC 47F/78/CD:2011) / Note: Date of issue 2011-06-20

/ Attention: Date de parution 2011-06-20

Halbleiterbauelemente - Bauelemente der Mikrosystemtechnik - Teil 17: Wölbungs-Prüfverfahren zur Bestimmung mechanischer Eigenschaften dünner Schichten (IEC 47F/78/CD:2011) / Achtung: Erscheinungsdatum 2011-06-20

Fecha Anulación:
2015-12 /Withdrawn
Idiomas Disponibles:
Bilingüe
Equivalencias internacionales:

IEC 47F/78/CD (2011-03)

Relación con otras normas DIN:

Es reemplazada por: DIN EN 62047-17 (2015-12)

Resumen:
This document specifies the methods for performing bulge tests on free-standing film specimen with a frame surrounding the bulging window. The film specimen is fabricated with micro/nano structural film materials. The thickness of the film is in the range of 0,1 µm to 10 µm.
Dieses Dokument legt die Verfahren zum Durchführen von Wölbungs-(Bulge-)Beanspruchungen an freistehenden Dünnschicht-Mikroproben fest, die um das Wölbungs-Fenster (Bulge-Matrix) gerahmt sind. Die Dünnschicht-Mikroproben werden auf Basis von Mikro/Nano-Schicht-Werkstoffen hergestellt. Die Dicke der Schichten liegt im Bereich von 0,1 µm bis 10 µm.
Keywords:
Base materials, Bulges, Definitions, Dimensions, Electrical engineering, Materials, Mechanical properties, Mechanical properties of materials, Mechanical testing, Microelectronics, Microsystem techniques, Samples, Semiconductor devices, System engineering, Testing, Testing devices, Testing system, Thin films, Thin-film devices, Thin-film technology
97,01
Idioma Formato

Formato digital

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