Resumen:
This document specifies the methods for performing bulge tests on free-standing film specimen with a frame surrounding the bulging window. The film specimen is fabricated with micro/nano structural film materials. The thickness of the film is in the range of 0,1 µm to 10 µm.
Dieses Dokument legt die Verfahren zum Durchführen von Wölbungs-(Bulge-)Beanspruchungen an freistehenden Dünnschicht-Mikroproben fest, die um das Wölbungs-Fenster (Bulge-Matrix) gerahmt sind. Die Dünnschicht-Mikroproben werden auf Basis von Mikro/Nano-Schicht-Werkstoffen hergestellt. Die Dicke der Schichten liegt im Bereich von 0,1 µm bis 10 µm.
Keywords:
Base materials, Bulges, Definitions, Dimensions, Electrical engineering, Materials, Mechanical properties, Mechanical properties of materials, Mechanical testing, Microelectronics, Microsystem techniques, Samples, Semiconductor devices, System engineering, Testing, Testing devices, Testing system, Thin films, Thin-film devices, Thin-film technology