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DIN EN 62047-11:2014-04

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems (IEC 62047-11:2013); German version EN 62047-11:2013

Fecha edición: 2014-04-01
En Vigor
Idiomas disponibles: Alemán
Resumen: This part of IEC 62047 specifies the test method to measure the linear thermal expansion coefficients (CLTE) of thin free-standing solid (metallic, ceramic, polymeric etc.) micro-electro-mechanical system (MEMS) materials with length between 0,1 mm and 1 mm and width between 10 µm and 1 mm and thickness between 0,1 µm and 1 mm, which are main structural materials used for MEMS, micromachines and others. This test method is applicable for the CLTE measurement in the temperature range from room temperature to 30 % of a material´s melting temperature.

Dieser Teil von IEC 62047 legt das Verfahren fest zum Messen des linearen thermischen Ausdehnungskoeffizienten (CLTE; en: coefficient of linear thermal expansion) von dünnen, freistehenden festen (metallischen, keramischen, polymeren usw.) Werkstoffen der Mikrosystemtechnik (MEMS; en: micro-electro-mechanical systems) mit Längen zwischen 0,1 mm und 1 mm, Breiten zwischen 10 µm und 1 mm und Dicken zwischen 0,1 µm und 1 mm, die als Hauptbestandteile für MEMS, Mikrobauteile und andere verwendet werden. Dieses Prüfverfahren ist zur Messung des CLTE im Temperaturbereich von Raumtemperatur bis 30 % der Schmelztemperatur des Werkstoffs geeignet.
Keywords: Coefficient of extension|Electrical engineering|Materials|Microelectronics|Microsystem techniques|Samples|Semiconductor devices|System engineering|Tensile strain|Tensile testing|Testing|Testing devices|Testing system|Thermal expansion|Thermal expansion coefficient|Thin films|Thin-film devices|Thin-film technology
ICS: 31.080.01 - Dispositivos semiconductores en general, 31.220.01 - Componentes electromecánicos en general
CTN:

Equivalencia Internacional

Idéntica EN 62047-11:2013

Idéntica IEC 62047-11:2013

Reemplazo Normas

Reemplaza a DIN IEC 62047-11:2010-06

El libro en palabras del autor

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