UNE-EN 62047-21:2014
Dispositivos semiconductores. Dispositivos micro-electromecánicos. Parte 21: Método de ensayo para la relación de Poisson de materiales MEMS de película delgada (Ratificada por AENOR en noviembre de 2014.)
| Edition date: |
2014-11-01
In Force
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|---|---|
| Ratification date: | 2014-11-01 |
| Available languages: | English |
| ICS: | 31.080.99-Other semiconductor devices |
| CTN: | CTN 209/SC 47 - Dispositivos de semiconductores |
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International Equivalence |
Identic EN 62047-21:2014 Identic IEC 62047-21:2014 |










